Alvos de pulverização catódica de ligas de níquel-cobalto-ferro contêm proporções específicas de níquel (Ni), cobalto (Co) e ferro (Fe). Essas ligas são transformadas em alvos de pulverização catódica planares ou rotativos e usadas nas indústrias de semicondutores, fotovoltaicas, óptica de precisão e revestimentos funcionais. A preparação dessas ligas é específica e requer atenção aos detalhes para atingir composição química uniforme, densidade-de estado sólido, granulação uniforme e qualidade das superfícies.
Método de preparação de alvos de pulverização catódica de liga de níquel-cobalto-ferro
Fusão de matéria-prima: Os blocos de níquel, cobalto e ferro de alta pureza são proporcionados e colocados no forno de fusão por indução a vácuo. Os materiais são aquecidos sob vácuo até que estejam completamente fundidos e agitados para evitar a segregação da composição.
Fundição e conformação: Uma liga de níquel-cobalto-ferro fundido é despejada em um molde de grafite e temperada para obter um tarugo de liga e evitar a formação de grãos grossos.
Forjamento e laminação: as ligas são submetidas a processos de forjamento e laminação a alta-temperatura para quebrar a estrutura da peça fundida.
Usinagem e colagem: o material da liga de níquel-cobalto-ferro é cortado-no formato certo e sintetizado.
Usos de alvos de pulverização catódica de liga de níquel-cobalto-ferro
Circuitos Integrados, onde é usado para camadas de barreira de difusão de Cu, eletrodos de bicamada Ta/CoFe e camadas livres de junções de túnel magnético (MTJs).
Células solares de filme-fino, onde servem como eletrodo traseiro ou camada tampão para melhorar o contato ôhmico e a durabilidade contra intempéries.
MEMS e sensores, onde é usado na fabricação de indutores-de baixa perda, camadas de blindagem magnética e atuadores micro{1}}magnéticos.
Revestimentos funcionais de superfície onde é usado como revestimento decorativo-resistente ao desgaste, à corrosão-e para peças automotivas, fixadores aeroespaciais e implantes biomédicos.
