Os alvos de pulverização catódica de liga de níquel-boro são materiais de revestimento de pulverização catódica feitos principalmente de níquel (Ni) e boro (B) por meio de um processo de densificação de alta-pureza. Eles são comumente usados em semicondutores, filmes finos ópticos e células solares. Filmes finos funcionais de níquel-boro são depositados em superfícies de substrato usando técnicas de deposição física de vapor (PVD), como pulverização catódica por magnetron.
Métodos de preparação de alvos de pulverização catódica de ligas de níquel-
Preparação da matéria-prima: pó de níquel de alta-pureza e pó de boro de alta-pureza são selecionados como matérias-primas.
Formação: A prensagem isostática a frio é comumente usada. O pó é colocado em um molde elástico (como um molde de borracha) e selado. Em seguida, ele é colocado em um recipiente de alta-pressão, e alta pressão isotrópica (por exemplo, 200-400 MPa) é aplicada através de um meio líquido (óleo ou água) para pressioná-lo em um "espaço verde" com uma certa força.
Sinterização: Em um ambiente de vácuo, alta temperatura (geralmente abaixo do ponto de fusão do níquel, aproximadamente 1.000-1.200 graus) e pressão unidirecional são aplicadas ao branco simultaneamente para obter um volume de liga de alta densidade.
Processamento subsequente: Utilizando tornos, fresadoras, retificadoras, etc., as peças sinterizadas são processadas com precisão nas dimensões finais exigidas pelo cliente.
Aplicações de alvos de pulverização catódica de liga de níquel-boro
Revestimento protetor de superfície: o depósito de películas finas de níquel-boro nas superfícies de peças facilmente desgastadas, como rolamentos, engrenagens, moldes e ferramentas de corte, pode prolongar significativamente sua vida útil.
Indústria eletrônica: utilizando sua resistividade ajustável, ele pode ser usado para fabricar resistores de filme fino-de alta-precisão e alta{1}}estabilidade.
Indústria óptica: Devido às suas propriedades densas e estáveis, às vezes é usado como revestimento protetor para certas lentes ópticas.
