Componentes de liga pesada de tungstênio (WHA) para implantação iônica
Geralmente, o tungstênio e o molibdênio são materiais cruciais para componentes usados em sistemas de implantação iônica, particularmente no caminho do feixe. Esses materiais são selecionados por sua capacidade de resistir às condições adversas de implantação iônica, incluindo altas temperaturas, campos magnéticos fortes e gases de processo agressivos.
Por que tungstênio e molibdênio?
Altos pontos de fusão:
Tanto o tungstênio quanto o molibdênio têm pontos de fusão muito altos, permitindo-lhes suportar as temperaturas extremas geradas durante a implantação iônica.
Resistência à corrosão:
Eles apresentam excelente resistência à corrosão, o que é vital quando expostos a gases reativos e subprodutos do processo de implantação iônica.
Alta resistência e condutividade térmica:
Essas propriedades são essenciais para manter a integridade estrutural dos componentes e dissipar o calor de forma eficiente durante a operação.
Alta Pureza:
Materiais de alta pureza minimizam a contaminação do feixe de íons e do material implantado.
Componentes típicos de implantação iônica feitos de tungstênio e molibdênio:
Câmaras:
As câmaras de vácuo que abrigam a fonte de íons e a área alvo geralmente são feitas de tungstênio, molibdênio ou suas ligas.
Filamentos:
Nas fontes de íons, filamentos feitos de tungstênio ou ligas de tungstênio são usados para gerar o plasma do qual os íons são extraídos.
Fendas de arco:
Esses componentes ajudam a moldar e direcionar o feixe de íons e geralmente são feitos de tungstênio ou molibdênio.
Suportes e cátodos:
Vários suportes e cátodos dentro da fonte de íons e do caminho do feixe são fabricados a partir desses metais refratários.
Peças de reposição:
Componentes de tungstênio e molibdênio também são usados para diversas peças sobressalentes e substituições dentro do implantador.
Componentes da linha de luz:
Os componentes dentro da linha de luz, como limitadores de feixe e aberturas, também podem ser feitos de tungstênio ou molibdênio.
Exemplos de empresas que fornecem componentes de implantação iônica:
No entanto, ligas pesadas de tungstênio (WHA), particularmente composições W-Ni-Fe e W-Ni-Cu, são amplamente utilizadas em sistemas de implantação iônica devido à sua excepcional densidade, propriedades de proteção contra radiação e estabilidade térmica. Essas ligas são ideais para componentes que exigem alta massa, durabilidade e resistência ao bombardeio iônico.
Principais propriedades para aplicações de implantação iônica
✔ Alta Densidade (17-18,5 g/cm³) – Eficaz para bloquear a dispersão de íons e melhorar o controle do feixe.
✔ Excelente proteção contra radiação – minimiza as emissões de-raios X e elétrons secundários.
✔ Alto ponto de fusão e estabilidade térmica – Suporta bombardeio de íons de alta-energia sem deformação.
✔ Boa usinabilidade – Pode ser usinado com precisão-em formas complexas (em comparação com o tungstênio puro).
✔ Baixa liberação de gases – Crítico para manter condições de alto vácuo em implantadores iônicos.
Componentes comuns da WHA na implantação iônica
Rolhas e aberturas de feixe – Controla e molda feixes de íons.
Faraday Cups – Mede a corrente do feixe de íons com precisão.
Blocos de blindagem e colimadores – Reduz a dispersão indesejada de íons.
Componentes de manuseio de wafer – Peças duráveis para processamento de semicondutores.
Componentes Isolantes – Alta rigidez dielétrica quando necessário.
Por que escolher WHA em vez de tungstênio puro?
Melhor usinabilidade (devido à fase ligante Ni/Fe/Cu).
Maior tenacidade à fratura (menos frágil que W puro).
Econômico-para geometrias complexas.
Notas disponíveis e personalização
Classes padrão: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Composições e dimensões personalizadas (hastes, placas, peças usinadas)
Acabamentos de superfície: Polido, retificado ou revestido para melhor desempenho.
Em caso de possíveis dúvidas, entre em contato conosco: info@yitechtrading.com