Descrição dos produtos
Fornecemos componentes de molibdênio e tungstênio usinados com precisão e alta qualidade para equipamentos de processamento usados na fabricação de semicondutores, incluindo implantação iônica, MOCVD, CVD, PVD.
Nossos principais produtos, incluindo cátodo, câmara de arco, repelente, placa lateral/final e fixador em fonte de íons do implantador Axcelis e Varian, trabalharam no processamento de produção de wafers de 12" e 16".
O material de tungstênio para implantador de íons é usado principalmente para preparar partes da fonte de íons do implantador de íons. É um material de tungstênio feito de pó de metal de tungstênio de alta pureza como matéria-prima, que é feito por metalurgia do pó e então laminado ou forjado. Ele tem as vantagens de alta densidade, alta dureza, pressão de vapor extremamente baixa e excelente resistência a altas temperaturas.
Especificação
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Número do modelo |
Peças de reposição para implantação de íons de tungstênio |
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Forma |
Personalizado |
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Material |
Molibdênio, Tungstênio |
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Composição química |
W,Mo |
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Nome do produto |
Peças de reposição para implantação de íons de tungstênio |
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Material |
tungstênio/liga de tungstênio |
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Pureza |
99,95% Mínimo |
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Forma |
feito sob encomenda |
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Aplicativo |
implantação iônica |
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Densidade |
10,2 g/cm3, 19,2 g/cm3 |
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Superfície |
polido |
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Certificado |
ISO 9001 e ISO14001 |
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Outro nome |
parte de molibdênio |
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