Alloy Invar: impulsionando a inovação na fabricação de semicondutores
À medida que os processos de fabricação de semicondutores continuam avançando em direção a nós mais refinados, o Invar Alloy (também conhecido como Invar) está demonstrando valor inovador de aplicação inovador sem precedentes no campo da fabricação de chips. Com sua estabilidade térmica exclusiva e propriedades mecânicas, a Invar Lelly está se tornando um dos principais materiais que suportam processos avançados de fabricação de semicondutores.
A tecnologia de inspeção de wafer também se beneficiou da aplicação da liga invar. Os fabricantes de equipamentos de medição líder do setor desenvolveram plataformas de inspeção com base na expansão Ultra-Low Invar Alloy (4J36), cuja estabilidade térmica é mais de cinco vezes maior que a dos materiais tradicionais. Durante a inspeção abrangente de 3 0 0mm mm, essas plataformas podem reduzir os erros de medição causados por flutuações de temperatura para menos de 0,1Nm, aumentando significativamente os recursos de controle do processo.
No processo de deposição de filmes finos, o Invar Alloy mostrou vantagens únicas. O mais recente equipamento de deposição de vapor físico (PVD) usa componentes da câmara de vácuo Invar Alloy, que não apenas alcançam melhor desempenho de vedação a vácuo, mas também estendem o ciclo de manutenção do equipamento em 30% devido à sua resistência de alta temperatura. As estruturas de suporte da câmara de reação do equipamento de deposição de vapor químico (DCV) também estão cada vez mais adotando a liga invar, reduzindo efetivamente os problemas de deformação térmica em processos de alta temperatura.
Especialistas do setor dizem que as aplicações inovadoras do Invar Alloy no campo da fabricação de semicondutores apenas começaram. À medida que os processos de semicondutores continuam a evoluir, esse material funcional com estabilidade extraordinária desempenhará um papel insubstituível em etapas de processo mais críticas, fornecendo suporte sólido para o avanço da tecnologia de fabricação de chips.
