As ligas de níquel-cromo-alumínio são uma classe de materiais alvo funcionais que possuem alta-estabilidade de temperatura, resistência à oxidação e excelente desempenho de pulverização catódica. Eles são amplamente utilizados na preparação de revestimentos protetores-de alta temperatura, revestimentos-resistentes ao desgaste, filmes finos semicondutores e eletrodos de sensores. Os principais requisitos para sua preparação incluem uniformidade de composição, alta densidade (maior ou igual a 98% da densidade teórica), microestrutura-de granulação fina e baixo teor de impurezas (O, C, N, etc. menor ou igual a 500 ppm) para garantir a composição estável do filme e a taxa de deposição uniforme durante o processo de pulverização catódica.
Método de preparação de alvos de pulverização catódica de liga de níquel-cromo-alumínio
Pré-prensagem: o pó misturado é carregado em um molde de grafite e transformado em uma pré-forma em um forno de prensagem a quente.
Prensagem a quente e sinterização em três-estágios:
Primeira etapa: Conclusão da desgaseificação e sinterização inicial;
Segunda etapa: Promoção de ligas;
Terceira etapa: Alcançar a densificação total (densidade relativa > 99%) e refinamento do grão, formando um lingote próximo à densidade teórica.
Casos de uso para alvos de pulverização catódica de liga de níquel-cromo-alumínio
Indústria Aeroespacial: A resistência à corrosão térmica dos componentes melhorou e a vida útil aumentou quando colados como revestimento de barreira térmica em motores de aeronaves e revestimentos protetores em pás de turbinas e outros componentes de motores.
Indústria de Equipamentos Energéticos: Revestimentos protetores em pás de turbinas a gás e outros componentes de equipamentos de proteção nuclear. Caldeiras térmicas em usinas nucleares também possuem revestimentos protetores. Garante a operação estável do equipamento em ambientes-de alta temperatura.
Indústria eletrônica: Pode ser usado para preparar filmes finos resistivos, camadas protetoras para componentes eletrônicos, etc., utilizando sua alta resistividade e propriedades físicas e químicas estáveis para atender aos requisitos de desempenho dos componentes eletrônicos.
Fabricação de equipamentos industriais: pode ser usado como revestimento protetor para rolos de fornos de tratamento térmico, revestimentos-resistentes ao calor para reatores químicos, reforço de superfície de moldes de vidro, etc., melhorando a resistência ao desgaste e à corrosão de equipamentos industriais.
Campo decorativo: Utilizado para tratamento de superfície de joias, relógios, celulares e outros produtos, formando um belo revestimento decorativo e ao mesmo tempo proporcionando proteção.
